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深冷分離制氮法所用設備包括空氣壓縮機、電加熱器、分餾塔、冷凝蒸發器等。與其他兩種工藝方法相比，它占地面積更大，工作步驟和內容更多。與變壓吸附制氮相比，其投資略高。
與膜分離制氮法相比，投資較低。但在制氮能力方面，深度冷凍法與膜分離制氮、 PSA制氮相比，純度要高十倍以上，同純度相比，對氮氣的提取率要高出近50%；例如，對99.9%純度的膜分離制氮，深度冷凍法可達45%, PSA制氮法可達32.1%，而膜分離制氮法可達15%。因此，在實際應用中，深度冷凍分離法具有較大的應用價值和優勢。
